一、無塵廠房等級劃分：十級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級等靜態(tài)。無塵廠房它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進(jìn)入、產(chǎn)生，滯留於室內(nèi)的粒子少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。

二、三態(tài)原則：

1、空態(tài)潔淨(jìng)室：已經(jīng)建造完成並可以投入使用的潔淨(jìng)室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)冇有操作人員操作的設(shè)備。

2、靜態(tài)潔淨(jìng)室：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔淨(jìng)室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)冇有操作人員。

3、動態(tài)潔淨(jìng)室：處於正常使用的潔淨(jìng)室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。

三、無塵廠房構(gòu)成是由下列各項(xiàng)係統(tǒng)所組成：

A、空調(diào)淨(jìng)化係統(tǒng)：空調(diào)機(jī)組、空氣過濾器係統(tǒng)、管道等。

B、天花板係統(tǒng)：包括吊桿、綱梁、彩鋼板天花等。

C、隔牆與立牆：牆、窗戶、門。

D、地板：PVC地板、高架地板、防靜電地板。

E、照明係統(tǒng)：日光淨(jìng)化燈、紫外燈管等。

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