FFU層流罩有哪些設計應用特點相關
一、FFU層流罩可模塊化連接使用, FFU層流罩是一種可提供局部潔淨環(huán)境的空氣淨化單元,可靈活地安裝在需要高潔淨度的工藝點上方,潔淨層流罩可以單個使用,也可多個組合成帶狀潔淨區(qū)域。
FFU層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器後,形成均流層,使?jié)崪Q空氣呈垂直單向流,從而保證了工作區(qū)內達到工藝要求的高潔淨度。FFU層流罩運用主要運用於潔淨室潔淨度高等級行業(yè),如LED電子、製藥、手術室、實驗室等。
二、特點相關:
A、FFU層流罩由靜壓箱、風道、風機、氣流均衡裝置、先進控製係統(tǒng)、金屬防護網、高效過濾器機箱外殼體等部件組成。
B、高效過濾器過濾效率:H13:99.99%@0.3μm 至U17:99.999995%@0.12μm 不等。不同效率與濾料高效過濾器價格與FFU層流罩成本不同。
C、FFU層流罩可模塊化連接使用,使得FFU風機過濾單元廣泛應用於無塵室、無塵操作臺、無塵生產線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。
D、FFU層流罩殼體結構可選用不鏽鋼、鋁板及冷軋鋼板靜電噴塗材質,具有重量輕、抗腐蝕、防鏽、美觀大方的優(yōu)點。
E、FFU層流罩獨立性的結構特點,可隨時調整,彌補潔淨室機動性不足,從而解決了生產工藝不宜調整的缺點。
F、靈活性。因為層流罩是自帶動力的,它不受區(qū)域的限製。在一個偌大的潔淨廠房裡,可根據需要,分區(qū)控製。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,層流罩的靈活性使得這樣的調整變得輕鬆,而且不會帶來二次投資。
L、可再利用性。從理論上講,一時不用的層流罩設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
E、負壓通風。這是層流罩的獨特特點。由於它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對於潔靜廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨區(qū)裡,使得密封變得很簡單。 第I、縮短建設周期。使用層流罩省掉了風管的製作和安裝,因為風管在潔淨工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能儘快帶來收益,選用層流罩成為了一種可能。
O、減少運行成本。雖然在選用層流罩時,初期投資要比使用風管通風高,但它在後期運行中,突出的表現出節(jié)能、免維護等特點。用大循環(huán)減少40%的運行成本。
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