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什么是FFU層流罩特點應用相關
日期:2025-04-28 19:45
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摘要:
一、FFU層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器后,形成均流層,使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄?,從而保證了工作區(qū)內達到工藝要求的高潔凈度。FFU層流罩運用主要運用于潔凈室潔凈度高等級行業(yè),如LED電子、制藥、手術室、實驗室等。FFU層流罩可模塊化連接使用, FFU層流罩是一種可提供局部潔凈環(huán)境的空氣凈化單元,可靈活地安裝在需要高潔凈度的工藝點上方,潔凈層流罩可以單個使用,也可多個組合成帶狀潔凈區(qū)域。
二、FFU層流罩構造相關:
A、FFU層流罩由靜壓箱、風道、風機、氣流均衡裝置、先進控制系統(tǒng)、金屬防護網(wǎng)、高效過濾器機箱外殼體等部件組成。
B、高效過濾器過濾效率:H13:99.99%@0.3μm 至U17:99.999995%@0.12μm 不等。不同效率與濾料高效過濾器價格與FFU層流罩成本不同。
C、FFU層流罩可模塊化連接使用,使得FFU風機過濾單元廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。
D、FFU層流罩殼體結構可選用不銹鋼、鋁板及冷軋鋼板靜電噴涂材質,具有重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方的優(yōu)點。
E、FFU層流罩獨立性的結構特點,可隨時調整,彌補潔凈室機動性不足,從而解決了生產工藝不宜調整的缺點。
三、FFU層流罩特點應用相關:
A、靈活性。因為層流罩是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,層流罩的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
B、可再利用性。從理論上講,一時不用的層流罩設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
C、負壓通風。這是層流罩的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且**。第D、縮短建設周期。使用層流罩省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用層流罩成為了一種可能。
E、減少運行成本。雖然在選用層流罩時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用大循環(huán)減少40%的運行成本。
四、FFU層流罩工作原理
FFU層流罩通電后,風機運轉,離心風機將空氣吸入,空氣到達FFU靜壓箱內,利用風機壓力的作用空氣到達高效過濾器過濾,通過高效過濾后的空氣達到100級(美國聯(lián)邦209E標準)。然后均勻地送出,到達我們工作的空間中。由于FFU層流罩是連續(xù)地工作,不斷地送出100級潔凈空氣,使工作空間形成正壓(即工作空間內的空氣大于工作域外),同時將工作區(qū)域中的不潔凈空氣排出,由于是正壓的環(huán)境,工作區(qū)域外的空氣無法進入工作區(qū)域內,從而使工作區(qū)域一直達到100級空間。
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